三坐標測量儀是坐標測量儀中的一種。       
一、原理：

       三次元量測儀可定義為：一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳送訊號，三個軸之位移量測系統（如光學尺）經數據處理器或計算機等計算出工件的各點坐標（x,y,z）及各項功能量測的儀器。

       工作原理：是利用光柵繞射所制成的量測系統俗稱光學尺，其光源經過瞄準透鏡而投射到游動刻度尺和主刻度尺，藉其光波產生Moire條紋明暗訊號之原理，由光電管接收其信號，經放大及修正后即可顯示出來，其系統及輸出信號情形。

       二、操作方法：

       1、量測前準備：

       a、檢查空氣軸承壓力是否足夠

       b、安裝工件

       2、測頭選擇及安裝：

       a、將適當之測頭裝于Z軸承接器

       b、檢視Z軸是否會自動滑落（否則應調整紅色壓力平衡調整閥）

       c、鎖定各軸之適當位置

       3、量測操作：

       a、開啟處理機電源

       b、啟開打印機開關

       c、參考操作手冊，選擇所需功能之指令

       d、進行量測，并讀出量測值

       4、完成后注意事項：

       a、Z軸移至原來位置后，鎖定

       b、X,Y軸各移至中央，鎖定

       c、關電源及壓力閥

       d、取下測頭

       e、并作適當的保養